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国产28nm光刻机SSA800批量交付 良率超90%？媒体辟谣：假消息！

快科技5月10日消息，近日， 一则"上海微电子28nm浸没式DUV光刻机完成首批批量交付"的消息刷屏半导体圈。对此，芯智讯发布文章辟谣，直指该消息存在多处严重事实错误。文章首先质疑了报道的信源问题。该报道仅以"据报道"含糊其辞，没有提及任何