摘自科学文献：材料科学中原子层沉积和蚀刻的工艺方案

2026-09-15 1 阅读约1分钟阅读 Sameer Sadruddin, Eleni Poupaki, Alex Watkins, Bora Karasulu, Adriaan J. M. Mackus, Erwin Kessels, S\"oren Auer, Jennifer D'Souza

arXiv:2609.12139v1 公告类型：新摘要：材料科学中的实验和模拟文献对原子层沉积 (ALD) 和原子层蚀刻 (ALE) 的报道不一，阻碍了比较和机器可操作的重用。我们为 ALD 和 ALE 实验和模拟过程提供了四种经过领域专家审查的 JSON 模式。使用 schema-miner 进行策划，并使用 schema-miner pro 以 QUDT 为基础，该模式结构材料、工艺条件、配置以及测量或预测结果。我们比较了它们的范围、结构和语义基础，并展示了它们通过 ORKG 模板进行模式引导的文献提取和结构化记录发布的用途。

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