富加镓业实现 6 英寸氧化镓晶锭技术突破，厚度超 70mm

IT之家 8 月 23 日消息，据富加镓业消息，近日，富加镓业采用自主垂直布里奇曼法（VB 法）成功生长出厚度超 70mm 的 6 英寸氧化镓单晶晶锭，经平湖实验室 HRXRD 检测，结晶质量优异；同时经中国计量科学研究院检测，电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。 据介绍，晶锭厚度是衡量单晶生长技术成熟度与产业化程度的关键指标，更厚的晶锭意味着单根晶体可切割出更多衬底片， 直接降低单片成本 。该 6 英寸晶锭厚度经中国计量科学研究院权威检测，晶锭厚度平均值 70.58 mm，极差 0.12 mm， 已超过主流碳化硅晶锭 20-50mm 的高度 。 平湖实验室 对 VB 氧化镓衬底进行了 HRXRD 双晶摇摆曲线测试，结果如下： 5 个点位的 FWHM 均值为 38.71 arcsec，均低于 50 arcsec，表明衬底整体结晶质量优异。 此外，电阻率是影响器件正向导通效果的关键参数，其均匀性决定了器件性能的一致性，是量产良率的重要保障。中国计量科学研究院对该 6 英寸衬底进行了电学性能检测， 电阻率均值：16.4 (mΩ·cm) ，均匀性：6.8%。 测试结果表明，该电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。 IT之家注意到，第二十届全国晶体生长与材料学术会议于 2026 年 8 月 22-25 日在山东省济南市南郊宾馆召开，由中国硅酸盐学会晶体生长与材料分会主办、山东大学承办。届时，富加镓业将在会议同期展览中设立展台， 携带众多款不同晶向的 2-8 英寸氧化镓衬底及外延产品集中亮相 ，涵盖 (100)、(010)、 (001) 、(011) 等多种晶面取向， ▲ 2inch 氧化镓衬底 ▲ 6inch 氧化镓衬底